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CPS高精度納米粒度分析儀是一臺穩(wěn)定高速、高分辨的納米顆粒測量儀器。該儀器適合測量 0.005 微米（也即 5 納米） 到 75um 微米范圍的粒度。

數(shù)據采集分析軟件采用全中文圖形用戶界面，方便用戶控制測試臺和記錄測量數(shù)據，支持手動或自動編譯其測試腳本程序。

F60薄膜厚度測量儀就像我們的 F50產品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準確定、全封閉測量平臺、預裝軟件的工業(yè)計算機，以及升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C型。

主動式防震系統(tǒng)一些靈敏度很高的儀器可能是一個自然諧振頻率的被動系統(tǒng)，可以用主動隔振系統(tǒng)消除共振。

薄膜厚度測量儀：以F20平臺為基礎所發(fā)展的F10-HC薄膜測量系統(tǒng)，能夠快速的分析薄膜的反射光譜資料并提供測量厚度，加上F10-HC軟件的模擬演算法的設計，能夠在厚膜中測量單層與多層(例如：底漆或硬涂層等)。

主動式減震臺空間6自由度主動減振-擁有全頻段出色的抗振動效果，同時沒有共振，LCD-加速度時間波形顯示/加速度頻譜顯示。